8 月 25 日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州科韵欧陆娱乐科技有限公司取得一项名为“一种 LED 晶圆片的切割方法、系统及设备“,授权公告号 CN114346478B,申请日期为 2022 年 2 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种 LED 晶圆片的切割方法、系统及设备,所述方法包括:欧陆娱乐器以脉冲串输出原始欧陆娱乐束;通过欧陆娱乐束整形组件将所述原始欧陆娱乐束转换成衍射欧陆娱乐光束;所述衍射欧陆娱乐光束经过聚焦物镜聚焦,在 Z 方向上形成若干个焦点;将 LED 晶圆片放置在可以移动的 X、Y 方向平台上,使聚焦后的衍射欧陆娱乐光束聚焦到所述 LED 晶圆片内部,移动 X、Y 方向平台,沿着移动的方向在所述LED 晶圆片内部形成若干个欧陆娱乐炸点;将所述LED 晶圆片通过外力辅助沿所述欧陆娱乐炸点轨迹切割,以形成多个单独的晶粒。本发明能够满足各类 MiniLED 晶圆片的切割需求,使得切割的晶圆片斜裂角度控制在 2 度以内,切割无锥度;同时切割后 LED 晶圆片的正面和反面直线度可以控制在 5μm 以内。
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